NiCr和TiAl合金靶材阴极电弧弧斑的运动特性

左帅,王浩琦,陈淑年,庞盼,廖斌

中国表面工程 ›› 2019, Vol. 32 ›› Issue (3) : 59-68.

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中国表面工程 ›› 2019, Vol. 32 ›› Issue (3) : 59-68. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20190228001
表面工程

NiCr和TiAl合金靶材阴极电弧弧斑的运动特性

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Motion Characteristics of Cathodic Arc Spots of NiCr and TiAl Alloy Targets

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