新型多弧磁过滤系统对TiAlN薄膜的组分调控

黄杰,史学伟,廖斌,吴先映

中国表面工程 ›› 2019, Vol. 32 ›› Issue (2) : 27-33.

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中国表面工程 ›› 2019, Vol. 32 ›› Issue (2) : 27-33. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20181201001
表面工程

新型多弧磁过滤系统对TiAlN薄膜的组分调控

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Composition Control of TiAlN Thin Film by A Novel Multi-arc Magnetic Filter System

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