磨粒和抛光垫特性对蓝宝石超声化学机械抛光的影响

钟敏,袁任江,李小兵,陈建锋,许文虎

中国表面工程 ›› 2018, Vol. 31 ›› Issue (6) : 125-132.

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中国表面工程 ›› 2018, Vol. 31 ›› Issue (6) : 125-132. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20180824002
表面工程

磨粒和抛光垫特性对蓝宝石超声化学机械抛光的影响

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Effects of Abrasive Particles and Pads’ Characteristics on Ultrasonic Assisted Chemical Mechanical Polishing for Sapphire

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