金属铜辅助化学刻蚀对金刚线切割多晶硅的制绒

邹宇新,席风硕,邱佳佳,杨玺,李绍元,马文会

中国表面工程 ›› 2017, Vol. 30 ›› Issue (6) : 59-66.

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中国表面工程 ›› 2017, Vol. 30 ›› Issue (6) : 59-66. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20170427002
表面工程

金属铜辅助化学刻蚀对金刚线切割多晶硅的制绒

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Cu-assisted Chemical Etching of Diamond Wire SawnMulticrystalline Silicon Wafers for Texturing

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