基体偏压对电弧离子镀AlCrSiON涂层结构和热稳定性的影响

耿东森,吴正涛,聂志伟,黎海旭,张小波,代伟,王启民

中国表面工程 ›› 2016, Vol. 29 ›› Issue (6) : 60-66.

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中国表面工程 ›› 2016, Vol. 29 ›› Issue (6) : 60-66. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2016.06.009
表面工程

基体偏压对电弧离子镀AlCrSiON涂层结构和热稳定性的影响

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Influence of Substrate Bias on Microstructure and Thermal Stability of AlCrSiON Coatings Deposited by Arc Ion Plating

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