光纤阵列的超声椭圆振动辅助化学机械抛光

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.2016.03.018

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中国表面工程 ›› 2016, Vol. 29 ›› Issue (3) : 132-138. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2016.03.018

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表面工程

光纤阵列的超声椭圆振动辅助化学机械抛光

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Ultrasonic Elliptical Vibration Assisted Chemical Mechanical Polishing for Fiber Array

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