沉积气压对杂化离子镀TiCN薄膜结构和性能的影响

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.2015.05.004

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中国表面工程 ›› 2015, Vol. 28 ›› Issue (5) : 24-29. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.05.004

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表面工程

沉积气压对杂化离子镀TiCN薄膜结构和性能的影响

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Effects of Deposition Pressure on Structure and Properties of TiCN Films by Hybrid Ion Plating

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