磁控溅射沉积BCx薄膜的摩擦学性能

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.2015.05.003

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中国表面工程 ›› 2015, Vol. 28 ›› Issue (5) : 16-23. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.05.003

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表面工程

磁控溅射沉积BC_x薄膜的摩擦学性能

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Tribological Properties of BC_x Films Prepared by Magnetron Sputtering

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