图形化固体薄膜技术及其摩擦学性能的研究进展

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.2015.02.001

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中国表面工程 ›› 2015, Vol. 28 ›› Issue (2) : 1-26. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.02.001

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图形化固体薄膜技术及其摩擦学性能的研究进展

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Research Progress in Patterned Thin Solid Film Techniques and Their Tribological Performance

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