循环氩离子轰击对磁控溅射铝膜结构和性能的影响

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.2015.01.008

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中国表面工程 ›› 2015, Vol. 28 ›› Issue (1) : 49-55. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.01.008

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表面工程

循环氩离子轰击对磁控溅射铝膜结构和性能的影响

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Influences of Cycles Argon Ion Bombardment on Structure and Properties of Al Films Deposited by Magnetron Sputtering

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