TiAlN/Ta多层膜的力学性能及热稳定性取得新进展

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.2014.06.018

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中国表面工程 ›› 2014, Vol. 27 ›› Issue (6) : 141-141. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2014.06.018

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中国学者海外论文摘要

TiAlN/Ta多层膜的力学性能及热稳定性取得新进展

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Mechanical Properties and Thermal Stability of TiAlN/Ta Multilayer Film Deposited by Ion Beam Assisted Deposition Obtains New Progress

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2014, 27(6): 141-141 https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.2014.06.018

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2014, 27(6): 141-141 https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.2014.06.018

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