面向超洁净流控的基于磁性薄膜标记柔性隔膜变形场重构方法研究

刘龙胤, 潘慎逸, 陈垚岗, 申慧敏

液压与气动 ›› 2024, Vol. 48 ›› Issue (11) : 94-100.

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液压与气动 ›› 2024, Vol. 48 ›› Issue (11) : 94-100. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2024.11.011
系统设计与研究

面向超洁净流控的基于磁性薄膜标记柔性隔膜变形场重构方法研究

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Reconstruction Method of Deformation Field of Flexible Diaphragm Based on Magnetic Film Labeling for Ultra-clean Flow Control

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