集成电路用气动隔膜阀流体特性的数值研究

唐金鑫, 李培源, 陈波, 周临震

液压与气动 ›› 2023, Vol. 47 ›› Issue (5) : 135-142.

PDF(6825 KB)
PDF(6825 KB)
液压与气动 ›› 2023, Vol. 47 ›› Issue (5) : 135-142. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2023.05.018
理论研究

集成电路用气动隔膜阀流体特性的数值研究

    {{javascript:window.custom_author_cn_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_CN}}
作者信息 +

Fluid Characteristics of Pneumatic Diaphragm Valves for Integrated Circuits

    {{javascript:window.custom_author_en_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_EN}}
Author information +
文章历史 +

本文亮点

{{article.keyPoints_cn}}

HeighLight

{{article.keyPoints_en}}

摘要

{{article.zhaiyao_cn}}

Abstract

{{article.zhaiyao_en}}

关键词

Key words

本文二维码

引用本文

EndNote

Ris (Procite)

Bibtex

导出引用
{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2023, 47(5): 135-142 https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2023.05.018
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2023, 47(5): 135-142 https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2023.05.018
中图分类号：

参考文献

原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序

参考文献

{{article.reference}}

基金

版权

{{article.copyrightStatement_cn}}
{{article.copyrightLicense_cn}}
PDF(6825 KB)

Accesses

Citation

Detail
段落导航
相关文章

版权所有：中国机械工程学会版权所有,未经同意请勿转载
技术支持：北京玛格泰克科技发展有限公司

/

〈 〉