超洁净电磁阀动态特性仿真与优化

吴祥伟, 王龙飞, 申慧敏

液压与气动 ›› 2022, Vol. 46 ›› Issue (5) : 46-52.

PDF(1657 KB)
PDF(1657 KB)
液压与气动 ›› 2022, Vol. 46 ›› Issue (5) : 46-52. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.005
集成电路制造

超洁净电磁阀动态特性仿真与优化

    {{javascript:window.custom_author_cn_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_CN}}
作者信息 +

Simulation and Optimization of Dynamic Characteristics of Ultra-clean Solenoid Valve

    {{javascript:window.custom_author_en_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_EN}}
Author information +
文章历史 +

本文亮点

{{article.keyPoints_cn}}

HeighLight

{{article.keyPoints_en}}

摘要

{{article.zhaiyao_cn}}

Abstract

{{article.zhaiyao_en}}

关键词

Key words

本文二维码

引用本文

EndNote

Ris (Procite)

Bibtex

导出引用
{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2022, 46(5): 46-52 https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.005
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2022, 46(5): 46-52 https://doi.org/10.11832/j.issn.1000-4858.2022.05.005
中图分类号：

参考文献

原文顺序 | 文献年度倒序 | 文中引用次数倒序

参考文献

{{article.reference}}

基金

版权

{{article.copyrightStatement_cn}}
{{article.copyrightLicense_cn}}
PDF(1657 KB)

Accesses

Citation

Detail
段落导航
相关文章

版权所有：中国机械工程学会版权所有,未经同意请勿转载
技术支持：北京玛格泰克科技发展有限公司

/

〈 〉