采用硅流体芯片的气动位置控制系统特性研究

吴央芳, 周铖杰, 夏春林, 王玉翰, 陆倩倩

液压与气动 ›› 2020, Vol. 0 ›› Issue (06) : 152-159.

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液压与气动 ›› 2020, Vol. 0 ›› Issue (06) : 152-159. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2020.06.024
理论研究

采用硅流体芯片的气动位置控制系统特性研究

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Characteristics of the Pneumatic Position Control System with the Silicon Valve

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