精密高刚度二维气浮工作台的设计与分析

doi:10.11832/j.issn.1000-4858.2020.03.015

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液压与气动 ›› 2020, Vol. 0 ›› Issue (03) : 96-101. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2020.03.015

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精密高刚度二维气浮工作台的设计与分析

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Design and Analysis of Precise Two-dimensional Aerostatic Worktable with High Stiffness

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收稿日期	出版日期
2019-06-20	2020-03-15
发布日期
2020-03-15

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