硅流体芯片的仿真建模及几何参数影响分析

周铖杰, 吴央芳, 夏春林, 王玉翰, 陆倩倩

液压与气动 ›› 2019, Vol. 0 ›› Issue (12) : 107-113.

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液压与气动 ›› 2019, Vol. 0 ›› Issue (12) : 107-113. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2019.12.017
理论研究

硅流体芯片的仿真建模及几何参数影响分析

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Modeling, Simulation and Geometric Parameter Influences of Silicon Valve

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