基于双平面线圈驱动的GMM薄膜微泵

寇旗旗, 张辉, 许亚峰, 马思宇, 王传礼

液压与气动 ›› 2014, Vol. 0 ›› Issue (11) : 15-18.

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液压与气动 ›› 2014, Vol. 0 ›› Issue (11) : 15-18. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2014.11.004
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基于双平面线圈驱动的GMM薄膜微泵

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GMM Thin Films Micropump Based on the Double Plane Coil Driving

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