热致动微型阀膜片的仿真分析及工艺设计

曹剑, 唐建忠, 朱笑丛

液压与气动 ›› 2014, Vol. 0 ›› Issue (1) : 13-17.

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液压与气动 ›› 2014, Vol. 0 ›› Issue (1) : 13-17. DOI: 10.11832/j.issn.1000-4858.2014.01.004
研究 设计

热致动微型阀膜片的仿真分析及工艺设计

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Simulation Analysis and Process Design of Membrane in Thermally Actuated Micro-valve

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