MEMS中梯形变截面梁优化设计

孙江宏, 鹿昆磊, 易源霖, 韩建男

机械强度 ›› 2019, Vol. 41 ›› Issue (4) : 871-875.

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机械强度 ›› 2019, Vol. 41 ›› Issue (4) : 871-875. DOI: 10.16579/j.issn.1001.9669.2019.04.017

MEMS中梯形变截面梁优化设计

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THE OPTIMIZATION OF OVAL VARIABLE CROSS-SECTION BEAM IN MEMS

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