面向机器人精密装配的高精度圆片位姿视觉检测

面向机器人精密装配的高精度圆片位姿视觉检测

王斌, 吴丹, 盖宇航

High-Precision Wafer Pose Visual Detection for Robot Precise Assembly

WANG Bin, WU Dan, GAI Yu-hang

机械工程学报 . 2023, (8): 50 -59 . DOI: 10.3901/JME.2023.08.050