石英玻璃超精密磨削加工的表面完整性研究

石英玻璃超精密磨削加工的表面完整性研究

高尚, 耿宗超, 吴跃勤, 王紫光, 康仁科

Surface Integrity of Quartz Glass Induced by Ultra-precision Grinding

GAO Shang, GENG Zongchao, WU Yueqin, WANG Ziguang, KANG Renke

机械工程学报 . 2019, (5): 186 -195 . DOI: 10.3901/JME.2019.05.186