基于激光干涉仪与自准直仪的平面镜轮廓高精度测量技术

杨平;朱睿;郭隐彪;高增潔

机械工程学报 ›› 2013, Vol. 49 ›› Issue (17) : 52-58.

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基于激光干涉仪与自准直仪的平面镜轮廓高精度测量技术

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A High-precision Measurement Technique of Flat Mirror Profile Comprising Interferometers and Autocollimator

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