光刻机步进扫描运动轨迹重叠规划算法

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机械工程学报 ›› 2010, Vol. 46 ›› Issue (7) : 122-127.

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光刻机步进扫描运动轨迹重叠规划算法

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Algorithm of Trajectory Overlay Planning for Step- and Scan-move in Scanner Lithography

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