高灵敏度、大带宽全石英谐振MEMS加速度计研究

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机械工程学报 ›› 2026, Vol. 62 ›› Issue (10) : 375-388. DOI: 10.3901/JME.260505

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Study for MEMS Accelerometer of Quartz Resonant with High Sensitivity and Large Bandwidth

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