扫描电镜内原位微纳米压痕测试装置设计与试验研究

衣春学, 刘仁霖, 张旭, 黄虎, 赵宏伟

机械工程学报 ›› 2025, Vol. 61 ›› Issue (20) : 30-39.

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机械工程学报 ›› 2025, Vol. 61 ›› Issue (20) : 30-39. DOI: 10.3901/JME.2025.20.030
仪器科学与技术

扫描电镜内原位微纳米压痕测试装置设计与试验研究

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Design and Experimental Study of an in-situ Micro/Nano Indentation Testing Device Inside the Scanning Electron Microscope

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