单晶4H-SiC的摩擦诱导化学机械复合加工(FCMM)实验研究

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机械工程学报 ›› 2024, Vol. 60 ›› Issue (7) : 401-410. DOI: 10.3901/JME.2024.07.401

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Experimental Study on Friction-induced Chemical-mechanical Composite Machining (FCMM) of 4H-SiC Single Crystal

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