基于多节点阵列结构的高精度薄膜温度传感器研究

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机械工程学报 ›› 2024, Vol. 60 ›› Issue (4) : 92-100. DOI: 10.3901/JME.2024.04.092

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Study on High Precision Thin Film Temperature Sensor Based on Multi-node Array Structure

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