原子力显微镜探针侧向力的标定方法及误差对比分析

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机械工程学报 ›› 2023, Vol. 59 ›› Issue (22) : 196-206. DOI: 10.3901/JME.2023.22.196

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Calibration Methods and Error Analysis of the Lateral Force of Atomic Force Microscope Probes

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