(111)硅片的高性能热堆式气体流量传感器及其封装技术研究

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机械工程学报 ›› 2023, Vol. 59 ›› Issue (2) : 30-38. DOI: 10.3901/JME.2023.02.030

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High-performance p+ Si/Au Thermopile-based Gas Flow Sensor in （111） Silicon and Its Packaging Technology

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