大尺寸单晶金刚石衬底抛光技术研究现状与展望

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机械工程学报 ›› 2021, Vol. 57 ›› Issue (22) : 157-171. DOI: 10.3901/JME.2021.22.157

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Research Status and Prospect on Polishing Technology of Large Size Single Crystal Diamond Substrate

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