熔石英光学元件的CO2激光加工技术研究新进展

赵林杰, 程健, 陈明君, 袁晓东, 廖威, 杨浩, 刘启, 王海军

机械工程学报 ›› 2020, Vol. 56 ›› Issue (11) : 202-218.

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机械工程学报 ›› 2020, Vol. 56 ›› Issue (11) : 202-218. DOI: 10.3901/JME.2020.11.202
制造工艺与装备

熔石英光学元件的CO2激光加工技术研究新进展

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New Progress of CO2 Laser Processing Techniquesfor Fused Silica Optics

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