纳米孔阵列加工技术研究进展

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机械工程学报 ›› 2020, Vol. 56 ›› Issue (9) : 223-233. DOI: 10.3901/JME.2020.09.223

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纳米孔阵列加工技术研究进展

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Research Progress in Machining Technology of Nanohole Arrays

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