半导体硅电极多通道放电机理研究

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机械工程学报 ›› 2019, Vol. 55 ›› Issue (21) : 208-214. DOI: 10.3901/JME.2019.21.208

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半导体硅电极多通道放电机理研究

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Study on Multi-channel Discharge Mechanism of Semiconductor Silicon Electrode

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