Ti2AlN薄膜的制备及性能表征

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机械工程学报 ›› 2019, Vol. 55 ›› Issue (16) : 77-84. DOI: 10.3901/JME.2019.16.077

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Ti₂AlN薄膜的制备及性能表征

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Preparation and Characterization of Ti₂AlN Films

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