基于GMM的高性能微定位工作台驱动系统的研制

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机械工程学报 ›› 2019, Vol. 55 ›› Issue (9) : 136-143. DOI: 10.3901/JME.2019.09.136

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Development of Drive System of High Performance Micro Positioning Worktable Based on Giant Magnetostrictive Material

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