气浮试验台重力卸载精度分析

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机械工程学报 ›› 2019, Vol. 55 ›› Issue (5) : 1-10. DOI: 10.3901/JME.2019.05.001

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气浮试验台重力卸载精度分析

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Gravity Unloading Precision Analysis of Air Bearing Facility

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