柔性铰链近场超声悬浮滑块动特性系数研究

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机械工程学报 ›› 2018, Vol. 54 ›› Issue (19) : 96-101. DOI: 10.3901/JME.2018.19.096

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摩擦学

柔性铰链近场超声悬浮滑块动特性系数研究

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Research on the Dynamic Characteristics of NUSL Flexible Hinge Slider

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