三种两自由度柔顺精密定位平台的性能对比与分析

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机械工程学报 ›› 2018, Vol. 54 ›› Issue (13) : 102-109. DOI: 10.3901/JME.2018.13.102

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Performance Comparison and Analysis of Three 2-DOF Compliant Precision Positioning Stages

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