基于矩形永磁体磁场信息的6自由度微位移精密测量

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机械工程学报 ›› 2018, Vol. 54 ›› Issue (12) : 141-147. DOI: 10.3901/JME.2018.12.141

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Micro-displacement Precision Measurement of 6-DOF Based on Rectangular Permanent Magnet Magnetic Field Information

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