静电驱动阶梯型微悬臂梁吸合电压分析

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机械工程学报 ›› 2018, Vol. 54 ›› Issue (8) : 217-222. DOI: 10.3901/JME.2018.08.217

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静电驱动阶梯型微悬臂梁吸合电压分析

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Pull-in Voltage Analysis of Electrostatically Actuated Stepped Micro-cantilever Beam

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