单晶硅多晶面表面波波速曲线超声测量方法

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机械工程学报 ›› 2018, Vol. 54 ›› Issue (6) : 110-117. DOI: 10.3901/JME.2018.06.110

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单晶硅多晶面表面波波速曲线超声测量方法

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Measurement of Surface Acoustic Wave Velocity Curves of Silicon Crystal by Ultrasonic Method

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