氮化硅陶瓷水下激光与超声复合加工方法及其机理研究*

姚燕生, 袁珠珠, 王园园, 陈雪辉, 袁根福

机械工程学报 ›› 2017, Vol. 53 ›› Issue (7) : 207-216.

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机械工程学报 ›› 2017, Vol. 53 ›› Issue (7) : 207-216. DOI: 10.3901/JME.2017.07.207
制造工艺与装备

氮化硅陶瓷水下激光与超声复合加工方法及其机理研究*

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Research on Ultrasonic-laser Machining Underwater and Its Mechanism for Silicon Nitride Ceramics

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