超精密机床静压气浮导轨表面微结构设计研究*

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机械工程学报 ›› 2017, Vol. 53 ›› Issue (3) : 193-200. DOI: 10.3901/JME.2017.03.193

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超精密机床静压气浮导轨表面微结构设计研究^*

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Design of the Aerostatic Linear Guideway with Micro-structured Surfaces for Ultra Precision Machine Tools

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