压电力传感器晶片与电极接触刚度影响研究*

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机械工程学报 ›› 2016, Vol. 52 ›› Issue (22) : 15-23. DOI: 10.3901/JME.2016.22.015

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压电力传感器晶片与电极接触刚度影响研究^*

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Effect of Contact Stiffness between Sheets and Electrodes in Piezoelectric Force Sensors

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