基于压电型薄膜式差动节流阀的静压主轴轴心轨迹理论研究与仿真*

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机械工程学报 ›› 2016, Vol. 52 ›› Issue (21) : 71-77. DOI: 10.3901/JME.2016.21.071

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基于压电型薄膜式差动节流阀的静压主轴轴心轨迹理论研究与仿真^*

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Theory Research and Simulation of Hydrostatic Spindle Axis Trajectory Based on the Piezoelectric Thin Film Differential Throttling Valve

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