金刚石线锯横向超声振动切割SiC单晶表面 粗糙度预测*

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机械工程学报 ›› 2016, Vol. 52 ›› Issue (19) : 204-212. DOI: 10.3901/JME.2016.19.204

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金刚石线锯横向超声振动切割SiC单晶表面粗糙度预测^*

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Surface Roughness Prediction of SiC Monocrystalline Cut by Diamond Wire-saw Excited by Transverse Ultrasonic Vibration

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