聚焦离子束微纳加工的溅射刻蚀工艺模型研究

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机械工程学报 ›› 2016, Vol. 52 ›› Issue (5) : 101-106. DOI: 10.3901/JME.2016.05.101

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Research on the Process Model for Focused Ion Beam Sputtering Etching Micro/Nanofabrication

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