微纳操作机构接触面预滑动特性试验研究

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机械工程学报 ›› 2015, Vol. 51 ›› Issue (13) : 176-182. DOI: 10.3901/JME.2015.13.176

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微纳操作机构接触面预滑动特性试验研究

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The Micro-scale Deformation of the Contact Surfaces in Precision Positioning Mechanism

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