超精密光学磨床减小热误差的结构优化

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机械工程学报 ›› 2015, Vol. 51 ›› Issue (1) : 167-175. DOI: 10.3901/JME.2015.01.167

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超精密光学磨床减小热误差的结构优化

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Material Thermal Conductivity Determination and Structure Optimization of Ultra-precision Optical Machine Tool

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